真空退火爐，真空回火爐，真空淬火爐，他們都叫真空熱處理爐。真空退火的工藝跟真空回火的工藝是可以在同一臺真空爐上做到的。真空退火爐和真空回火爐通常稱作真空箱式爐或真空箱式氣氛爐。
真空淬火工藝須要到專用的真空淬火爐上去做。標準的真空箱式爐具有密封性能好，可以做到真空或充入惰性氣體，在爐內退火、回火的材料不會氧化。真空箱式爐也可以做普通的淬火，但與普通淬火爐一樣會正常的氧化。如果要做到淬火不會氧化，那么要用到真空淬火爐。
真空回火爐水冷系統(tǒng)：真空爐爐體、爐門、真空機組、水冷電極等需要冷卻水。該系統(tǒng)由主供水管分配到各冷卻部位，流回到封閉式回水管。其中各分進水管上安裝有不銹鋼球閥、立式熱水表等。在主進水管路上安裝有電接點壓力表和熱電偶，可直接觀察到進水管的壓力和溫度，并且能實現超溫、水壓過低報警，實現自動保護功能。
